硅片清洗劑的特點(diǎn)及介紹

發(fā)布時間：

2018-08-20

GH-102型產(chǎn)品為雙組分產(chǎn)品，A劑主要有鉀鹽、緩蝕劑、絡(luò)合劑、助洗劑組成，B劑主要由表面活性劑聚合復(fù)配而成。試劑級氫氧化鉀提供皂化堿度，有聚合的高效緩蝕劑、絡(luò)合劑、助洗劑及表面活性劑提供洗凈性，本品對動物油、植物油、礦物油污、懸浮液、碾磨膏的乳化、皂化、洗凈性都有很好的表現(xiàn)，對金屬離子有很強(qiáng)的剝離、絡(luò)合、洗凈效果，經(jīng)檢測對油污的洗凈率為99%，對銅、鐵等金屬離子的剝離、絡(luò)合、洗凈效果達(dá)到98%以上，同時GH-102型產(chǎn)品不含鈣、鎂、鐵、銅、鉛等金屬離子，且不含磷，符合歐盟ROHS要求，環(huán)保性好，清洗能力強(qiáng)。 ? 主要特性： 1）GH-102型為高濃縮雙組分產(chǎn)品，尤其適合清洗重污染硅片； 2) 不含磷，符合歐盟ROHS環(huán)保要求； 3）低泡產(chǎn)品，超聲波清洗線使用,不會有泡沫溢出； 4）除鉀、鈉離子以外的金屬離子含量不高于50PPm，能滿足高精度的IT要求。使用說明： 1）在清洗槽中先加3/4純凈水； 2）如果在手動線使用，建議每100升槽液中加入1~2公斤GH-102A 型硅片清洗劑和0.5~1公斤GH-102B型硅片清洗劑，并盡可能減少中間的添加量，提高工作效率，當(dāng)遇到磨光碾磨膏硅片及回收懸浮液切割的硅片時可以根據(jù)具體情況在每8小時添加開槽量的一半，為了保證清洗效果，建議每清洗10000~12000片硅片徹底更換； 3）一般每公斤GH-102型可以處理125#單晶硅片2000片以上，添加時可以根據(jù)該比例計(jì)算，當(dāng)遇到磨光碾磨膏硅片及回收懸浮液切割的硅片時應(yīng)適當(dāng)增加藥劑量，當(dāng)然在保證硅片成品率的情況下也可適當(dāng)減少添加量； 4）將純凈水加至操作液位，加溫到所需溫度，即可以使用； 5）硅片在清洗過程中盡可能減少裸露在空氣中的時間，以防止產(chǎn)生花片。控制參數(shù)：游離堿度? ? ? ? 6~10點(diǎn)(工作液)? ? ? ? ?? 槽液溫度? ? ? ? 50~55℃（溫度高時，處理時間可以縮短）處理時間? ? ? ? 2~4分鐘（根據(jù)設(shè)備條件選擇）工藝操作示意圖： ? ? 清洗操作規(guī)程： 1．清洗劑配比方案：一槽：客戶可以根據(jù)工藝要求處理; 二槽：流動純凈水清洗; 三槽：GH-102A硅片清洗劑1~2kg，GH-102B硅片清洗劑0.5~1kg; 四槽：GH-102A硅片清洗劑1~2kg，GH-102B硅片清洗劑0.5~1kg;? ? ?? 五槽：以后的所有槽位用流動純水清洗，一般是3~4個水洗槽. 2．各清洗槽溫度控制：三槽：溫度設(shè)定50~55℃ 四槽：溫度設(shè)定50~55℃ 3．各清洗槽清洗時間：不低于2分鐘；一般為3~5分鐘為宜。 4．清洗劑更換周期： 1）手動線可以每班更換一次， 2）自動線可以每1~3班更換一次，檢測方法： 1）游離堿度用移液管將10毫升槽液移入錐形瓶中，加入3~4酚酞指示劑，然后用0.1N的鹽酸滴定，顏色由紅色至無色即為終點(diǎn)，此時所消耗的0.1N的鹽酸毫升數(shù)即為槽液的游離堿度。 2）PH值：用PH計(jì)進(jìn)行測試，注意事項(xiàng)： 1．線切后的晶棒不可以沾水，如不能及時清洗，先存放在懸浮液或清洗劑中（全部浸沒）； 2．線切后的晶棒一旦上架清洗，必須馬上處理。而且在整個清洗過程中不可讓硅片自然干燥； 3．脫膠時必須保持硅片潤濕，亦不可自然干燥； 4．一、二槽超聲波清洗時須先關(guān)閉鼓泡開關(guān)，待上架完成后再開鼓泡，主要避免產(chǎn)生碎片； 5．每個清洗周期完成后（如班次的更替），徹底更換五、六、七、八槽的清水槽； 6．清洗人員在整個清洗過程中不得直接接觸硅片，必須佩帶橡膠手套，以免產(chǎn)生指紋??； 7．為保證硅片清洗的潔凈度，在脫膠前的噴淋沖洗時間控制在30分鐘以上； 8．在使用中如遇到臟片、白斑等等問題時可及時與廣華公司的技術(shù)服務(wù)人員聯(lián)系； 9．該產(chǎn)品在排放時只要中和、凝絮、沉降等等簡單處理。包裝：25kg塑桶，1噸包裝桶

主要特性：

1）GH-102型為高濃縮雙組分產(chǎn)品，尤其適合清洗重污染硅片；

2) 不含磷，符合歐盟ROHS環(huán)保要求；

3）低泡產(chǎn)品，超聲波清洗線使用,不會有泡沫溢出；

4）除鉀、鈉離子以外的金屬離子含量不高于50PPm，能滿足高精度的IT要求。

使用說明：

1）在清洗槽中先加3/4純凈水；

2）如果在手動線使用，建議每100升槽液中加入1~2公斤GH-102A 型硅片清洗劑和0.5~1公斤GH-102B型硅片清洗劑，并盡可能減少中間的添加量，提高工作效率，當(dāng)遇到磨光碾磨膏硅片及回收懸浮液切割的硅片時可以根據(jù)具體情況在每8小時添加開槽量的一半，為了保證清洗效果，建議每清洗10000~12000片硅片徹底更換；

3）一般每公斤GH-102型可以處理125#單晶硅片2000片以上，添加時可以根據(jù)該比例計(jì)算，當(dāng)遇到磨光碾磨膏硅片及回收懸浮液切割的硅片時應(yīng)適當(dāng)增加藥劑量，當(dāng)然在保證硅片成品率的情況下也可適當(dāng)減少添加量；

4）將純凈水加至操作液位，加溫到所需溫度，即可以使用；

5）硅片在清洗過程中盡可能減少裸露在空氣中的時間，以防止產(chǎn)生花片。

控制參數(shù)：

游離堿度 6~10點(diǎn)(工作液)

槽液溫度 50~55℃（溫度高時，處理時間可以縮短）

處理時間 2~4分鐘（根據(jù)設(shè)備條件選擇）

工藝操作示意圖：

清洗操作規(guī)程：

1．清洗劑配比方案：

一槽：客戶可以根據(jù)工藝要求處理;

二槽：流動純凈水清洗;